潔淨室終端過濾器(高效或亞高效過濾器)直接連送風口：
潔淨室特點終端過濾器(高效或亞高效過濾器)盡量接近潔淨室，它可以就是送風口或直接連送風口，也可以接到房間的送風靜壓箱上；回風口均設在潔淨室的下部，目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔淨室中都有渦流存在，不適宜用于高潔淨度的潔淨室中，宜用于6~9級的潔淨室中。
單向流潔淨室：單向流潔淨室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，並且在斷截面上風速一致，有垂直單向潔淨室，准垂直單向流，水平單向流潔淨室等。
矢量潔淨室：在房間的側上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形高效送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間爲宜。這種潔淨室也可以達到5級（100級）潔淨度。
潔淨室的流型基本上是幾種類型，但是實際應用時可演變出很多形式。潔淨室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實現高級別的潔淨室。例如，在潔淨室中設水平單向流的“隧道”（一側敞開），潔淨室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現“隧道”部分達到5級以上潔淨度，工作台就設在“隧道內”。
